Да ли је силицијум нитрид полупроводник?

Да ли је силицијум нитрид полупроводник?

Силицијум нитрид (Си₃Н₄) јеније класификован као полупроводнику традиционалном смислу; него се сматра анизолатор или диелектрични материјалса веома широкимбандгапод око4,6–5,3 еВ, у зависности од његовог кристалног облика (аморфног или кристалног). Поређења ради, силицијум-класични полупроводник-има појас од око1,1 еВ, што му омогућава да проводи електричну енергију под одређеним условима и чини га веома погодним за електронске уређаје. Насупрот томе, велики појас силицијум нитрида то значине спроводи ефикасно електричну енергију на нормалним или чак повишеним температурама, што га чини одличнимизолациони материјал.

Међутим, силицијум нитрид игра акритична помоћна улога у производњи полупроводника. Широко се користи као адиелектрични слој, пасивациони филм или изолациона баријерау микроелектронским и фотонским уређајима. На пример, уЦМОС технологија и МЕМС (микро-електро-механички системи), силицијум нитрид се користи заелектрично изоловати различите компоненте, штите од влаге и загађивача и пружају механичку подршку. Његова висока диелектрична чврстоћа и термичка стабилност чине га идеалним заизолациони слојеви у интегрисаним колима (ИЦ)икондензатори у напредном паковању.

Поред тога, користе се танки филмови силицијум нитридаоптичке апликацијеи каојеткане маскезбог њихове издржљивости и прецизне селективности нагризања. Иако не проводи електричну енергију као полупроводници, његоватоплотну проводљивост, хемијску инертност и компатибилност са процесима на бази силицијума{0}}чине га незаменљивим у ширем ланцу снабдевања полупроводницима.

У истраживању, у току је истраживањедопинг силицијум нитридаили стварање наноструктура за модификовање његових електричних својстава, али главне апликације га и даље третирају првенствено каоизолатор или функционална керамика, а не полупроводник. Стога, иако силицијум нитрид значајно доприноси перформансама и поузданости полупроводничких уређаја, он сам по себи није полупроводник.